TWPシリーズは、ウエハーを1枚ずつ回転させながら表面の処理を行います。
主に有機物の除去やレジスト上のメタルを除去するリフトオフプロセスでご利用いただけます。
・１チャンバー完結 完全枚葉処理
・パドル処理、低速回転域での薬液裏面回り込み防止機構
・液ミスト、剥離メタルの再付着防止機構
・効率的なジェット剥離と液ミスト、剥離メタル飛散防止機構
・効率的なメタル回収機構
リフトオフ/剥離検証テスト
枚葉装置概要
TWPシリーズは、ウエハーを1枚ずつ回転させながら表面の処理を行う装置で、主に有機物の除去やレジスト上のメタルを除去するリフトオフプロセスでご利用いただけます。
装置基本仕様
| TWPmシリーズ | TWPシリーズ | |||
|---|---|---|---|---|
| 研究開発・少量試作用 | 量産用 | |||
| 用 途 | リフトオフ／レジスト剥離／洗浄等の有機薬液による枚葉処理 | |||
| 対象ウェハ | 種類 | Si、化合物（GaAs、I nP、Sapphire、SiC、GaN等） | ||
| サイズ | ２、３、４、５、６、８ in c h （同時稼働は隣接した２サイズまで） | |||
| 洗浄チャンバー数 | 1 | 2 | 4 | |
| 処理機構 | 高圧ジェット／２流体ジェット／超音波シャワー等（オプション） | |||
| スピン回転数 | Max 5 ,0 0 0 r pm （薬液処理：任意／乾燥： 3 ,0 0 0 r pm） | |||
| 処理液 | 剥離液、有機溶剤、純水 | |||
| 薬液回収 | 薬液の循環回収・濾過・温調システム | |||
| 搬送ロボット | 搬送ユニット | ダブルアームスカラロボット | ||
| チャック方式 | バキュームチャック／メカニカルチャック方式 | |||
| 材質 | 筐体（ SUSミガキ） ・処理部（ SUS- EP) | |||
| 標準装置サイズ （本体） |
幅 | 1,200mm | 1,900mm | 1,900mm |
| 奥行 | 1,400mm | 2,200mm | 2,900mm | |
| 高さ | 2,000mm | 2,200mm | 2,200mm | |
