産業プラントエンジニアリングの株式会社 高田工業所

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バッチ式ウエハー自動洗浄装置

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バッチ式ウエハー自動洗浄装置

TAKADAでは、長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術、搬送/制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作して参ります。
3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。

ウエハー洗浄/エッチング装置

TFCカタログ
装置構成(組み合せ)
薬液
APM、HPM、SPM等の無機薬品、IPA、現像液等の有機薬品及び各種洗浄液ならびに機能水
搬送状態
カセット/ドラムならびにキャリアレス(※搬送ロボットは上部/下部の2種類があります。)
乾燥
スピンドライヤー/リンサードライヤー/IPAドライヤー(※IPAは内製品です。)

特殊洗浄装置

半導体で培ったクリーン化技術を用いて、清浄度の高い各種洗浄装置を設計製作しております。

洗浄実験/開発
装置の製作だけではなく、最適なプロセスを提供するため、槽内の可視化による槽内液流れの最適化・コンパクト化など、各種洗浄技術データの蓄積にも取り組んでおります。
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株式会社高田工業所
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