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IPA蒸気乾燥装置

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IPA蒸気乾燥装置

TFCカタログ

IPA(イソプロピルアルコール)の蒸気でウエハーを精密乾燥

ウエハーをIPA(イソプロピルアルコール)の蒸気雰囲気中において洗浄・乾燥する装置で、IPAの品質管理システムおよび、種々の安全システムが装備されています。

特長

  • 材質や形状を問わず、高純度IPAを用いた
    クリーン乾燥が可能
  • オールステンレスにより破損の危険性を排除
  • ペーパーゾーン、ドライゾーンに分け、持ち出しIPA を削減
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