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枚葉式ダイシングフレーム洗浄装置

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枚葉式ダイシングフレーム洗浄装置

TFCカタログ
TFC catalog

フレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄性能を持つ独自のジェットノズルで洗浄。


枚葉式ダイシングフレーム洗浄装置

TFCシリーズは、ウエハー切断(ダイシング)工程で使用される
ダイシングフレームに付着した、テープ糊や手脂などをジェットを使用し除去します。
ブラシ等の接触物がない為、糊等の2次付着による洗浄性の劣化がありません。

洗浄事例

装置基本仕様

用途 枚葉式ダイシングフレーム洗浄
対象リングフレーム 材質 ダイシング用リングフレーム
サイズ 標準6インチwafer用(各種サイズに対応)
処理ステーション数 1チャンバー(増設可)
処理液 有機系剥離液、純水
スクラブ機能 高圧ジェット
搬送ロボット センタリング機能付スカラーロボット
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